通过物理溅射加以逸除。只要这台设备制造完成,今后,我们只需要将半成品镜头交给它完成最终处理就可以了!这是我们现在获取光刻镜头的最优解!”
“大家请看,这台设备由离子源、萃取栅系统和反应腔3个主要部分组成。离子源通入氢气或其他稀有气体产生低温等离子体,从而提供低能量离子。”
“何总工,冒昧问下,我们如何的获取离子?”
“可以通过电子回旋微波共振等离子体技术来获取较高密度离子,这个技术我早就想好了,等下细说。”
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